據悉，尼康開發出了支持第7～8代玻璃基板尺寸的液晶顯示器用曝光裝置“FX-71S”、“FX-81S”，將于2005年秋季上市。通過由11個投影鏡頭構成的多鏡頭光學系統，一次掃描最大可曝光1枚57英寸寬屏面板、或2枚45英寸寬屏面板。隨著曝光范圍的增大，處理速度得到了提高。FX-71S（2000mm×2200mm）為384張/小時（42英寸寬屏面板）或294張/小時（48英寸寬屏面板），FX-81S（2200mm×2400mm）為384張/小時（45英寸寬屏面板）或240張/小時（52英寸寬屏面板）。曝光精度為3.5μm（g＋h＋i線）和3μm（i線），校準精度小于0.6μm，掩膜尺寸為1220mm×1400mm。（第三媒體 2006-06-28）