據消息報道,三星電子近日研發成功了全球首款8GB容量的MCL NAND閃存芯片,并開創性地使用了30nm工藝。不過在欣喜之余,三星又表示這種創新性的芯片要到2009年才會投產,屆時大容量的存儲卡將成為現實。
據悉,為了將生產工藝改進到30nm,三星應用了新的“自對準雙曝光技術”(SaDPT),融自對準技術和193nm波長光源ArF兩次曝光技術于一身。
(第三媒體 2007-10-24)
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